Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование / Лукичев В.Ф.

Описание и характеристики Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование / Лукичев В.Ф.

Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

Для приобретения Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование / Лукичев В.Ф. от «Наука» арт. 4597627 выберите желаемое количество единиц и кликните на красную кнопку "Купить". Далее товар будет перемещён в корзину. После выбора всех выбранных позиций перейдите в корзину в правом верхнем углу страницы и завершите оформление заказа. При оформлении вам будет предложено выбрать способ доставки Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование / Лукичев В.Ф. в Москве и Московской области и оплаты из доступных вариантов.