Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие / Родионов Юрий Анатольевич
- Быстрая доставка: Москва и Московская область
- Тип товара: Книга
- Издательство: Инфра-Инженерия
- Артикул: 3648254
- ISBN: 978-5-9729-0337-5
- Автор: Родионов Юрий Анатольевич
- Год: 2019
- Язык: Русский
- Формат: 60x84/16
- Тип обложки: твердый переплет
- Страниц: 352
- Наличие: В наличии
977 руб.
1470 руб.
Описание и характеристики Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие / Родионов Юрий Анатольевич
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Для приобретения Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие / Родионов Юрий Анатольевич от «Инфра-Инженерия» арт. 3648254 выберите желаемое количество единиц и кликните на красную кнопку "Купить". Далее товар будет перемещён в корзину. После выбора всех выбранных позиций перейдите в корзину в правом верхнем углу страницы и завершите оформление заказа. При оформлении вам будет предложено выбрать способ доставки Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие / Родионов Юрий Анатольевич в Москве и Московской области и оплаты из доступных вариантов.
Рекомендуемые товары